工科物理实验建设(六期)-双靶磁控溅射仪（JJ24000090）采购公告

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工科物理实验建设(六期)-双靶磁控溅射仪（JJ24000090）采购公告

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更新时间:

2024年03月20日

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关键信息:

磁控溅射

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

工科物理实验建设(六期)-双靶磁控溅射仪	****
2024-03-20 10:02:40	2024-03-25 11:00:00
****	货到验收付款

	签约后60个工作日内
￥244000.00




省市区文化路3巷**建筑学馆
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

双靶磁控溅射仪

台

其他仪器仪表

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

科晶

VTC-600-2HD

￥ 244000.00

1、电源电压：220V 50Hz 2、功率：900W 3、腔体内径：300mm 4、极限真空度：9.0×10-4Pa 5、样品台加热温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度） 6、靶枪数量：2个 7、靶枪冷却方式：水冷 8、靶材尺寸：2″，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） 9、直流溅射功率：500W；射频溅射功率：300W。（一个直流一个射频电源） 10、载样台：140mm，可根据客户需求选配加装偏压功能，以实现更高质量的镀膜 11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调 12、工作气体：Ar等惰性气体 13、进气气路：质量流量计控制2路进气，一路为100SCCM，另一路为200SCCM 14、产品规格：尺寸：主机尺寸：500mm×560mm×660mm 整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm 真空室规格：φ300×300mm 15、膜厚监测仪系统 16、分子泵（德国进口或者国产更大抽速） 17、冷水机

商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;1、需派技术工程师对需方人员进行技术培训，使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常基本维护等工。培训内容包括：系统原理、实验操作、电气控制的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容。2、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；3、质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）；4、每年免费提供 2次设备巡检，****设备处于完好状态。5、建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行；;

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