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...偏压电源 DiBIAS3K 脉冲偏压电源 1 台 派立特 10.RF 电源 PG-500 射频电源 2 套 吉兆源。 参考链接 售后服务 技术支持:7x24小时;保修期:一年;服务响应时限:报修后2小时;质保期:一年;培训要求:培训两次;是否含税:国产含税;...( 射频电源 在正文中 )
...大气6.7-4pa时间小于40分钟,分子泵抽速600L/s,极限真空8.0E-5Pa,采用射频电源1台,频率13.56Mhz,带自动匹配器,最大功率1000W,可装载最大8英寸样片 参考链接 售后服务 服务网点:外地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;...( 射频电源 在正文中 )
...采用磁控靶从下向上溅射镀膜; ③电源: 直流脉冲溅射电源1kW,数字化控制及显示,1台; 射频电源RF500W, 数字化控制及显示,1台; 脉冲偏压电源:-1kV, 数字化控制及显示,1台。 8.工作气路系统 质量流量控制器及量程范围:Ar,100sccm;N2,10sccm;O2,10sccm; 9.膜厚不均匀性 ≤±5%(单靶镀膜,基片台Φ120mm范围...( 射频电源 在正文中 )
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