上海半导体材料器件招标采购

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复旦大学易挥发性材料快速退火炉公开招标公告
2022-11-28
招标公告
上海市

...: 包件号 名称 数量 简要技术规格 备注 1 易挥发性材料快速退火炉 1套 用于加工包括半导体材料器件制造工艺中的离子注入和掺杂退火,合金退火,外延后退火,结晶化与致密化,热氧化和热氮化生长,CIGS太阳能电池硒化,硅和III-V族化合物半导体,MEMS和太阳能薄膜电池的生产和研究。 预算金额:人民币120万元 最高限价:人民币117.6万元 项目交付的时...( 半导体材料器件 在正文中 )

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