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...≤ 1.2 KVA; (10)传动机制采用精密伺服电机、精密丝杠及导轨控制 (11)具有去离子风扇和 ESD 保护 (12)具有弹簧销钉进行晶圆定位; (13)具有PLC控制单元,带 5.7”触摸屏 (14)具有灯塔:三色灯塔和蜂鸣器,用于操作状态监测; (15)配置紧急停止按钮。 (16)质保期不低于1年 1.0台 XM3112 116000.00 上海芯...( 离子风扇 在正文中 )
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